מה כוללת תחזוקת ציוד לצ'יפס?

1. ציוד MOCVD הוא ציוד הליבה לייצור שבבי LED, ועלות התחזוקה שלו גבוהה. מנקה באופן קבוע את הציוד, ובמיוחד את פנים תא התגובה, כדי למנוע מגיבים שיוריים להשפיע על איכות הצמיחה האפיטקסיאלית הבאה. במקביל, יש לכייל ולתחזק את מערכת אספקת הגז ומערכת בקרת הטמפרטורה של הציוד. לדוגמה, יש לבדוק באופן קבוע את הדיוק של בקר זרימת הגז באופן קבוע כדי להבטיח את האספקה ​​המדויקת של גז התגובה.

2. ציוד אנקפסולציה כמו מכונות מיצוק קריסטל ומכונות מליטה עופרת דורשים גם תחזוקה שוטפת. יש לנקות את חרירי היניקה של מכונות ההתמצקות באופן קבוע כדי להבטיח שהם יכולים להרים במדויק ולהניח שבבים. הקליפה של מכונת ההדבקה המובילה תישחק לאחר זמן רב של שימוש, תשפיע על איכות ההדבקה, ויש להחליף אותה בזמן.